設備カテゴリ
半導体・結晶・露光
半導体・結晶・露光に関連する工場・企業・設備投資をMONOMIZA収録データから確認できます。
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半導体・結晶・露光の収録状況
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関連データの地域分布
大阪府5件
関連する設備投資の種別
設備導入3件
関連する設備投資
設備投資公表
大阪工場 先端フォトレジスト評価設備拡充
住友化学
⌖ 大阪府 大阪市此花区
液浸ArFレジストと厚膜i線レジスト向けの先端露光機を増強・導入し、開発・量産評価を強化。2026年5月14日資料で先端ArF露光機は2026年に稼働開始済みと確認。厚膜i線用露光機の稼働実績は未確認。