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設備投資

大阪工場 先端フォトレジスト評価設備拡充

計画公表

液浸ArFレジストと厚膜i線レジスト向けの先端露光機を増強・導入し、開発・量産評価を強化。2026年5月14日資料で先端ArF露光機は2026年に稼働開始済みと確認。厚膜i線用露光機の稼働実績は未確認。

実施企業：住友化学 →対象工場：住友化学 大阪工場 →

概要

実施企業住友化学 →
対象工場住友化学 大阪工場 →
所在地大阪市此花区春日出中3丁目1番98号　地図を見る ↗
対象製品液浸ArFレジスト・厚膜i線レジスト
主な目的先端半導体向け受注拡大・開発/品質評価体制強化
全体の進捗計画公表
計画発表日2025年2月26日
主な目標・予定時期2025年度から2026年度上期にかけて順次（予定）

投資内容の詳細

目標・背景

先端半導体向け受注拡大・開発/品質評価体制強化

液浸ArFレジストと厚膜i線レジスト向けの先端露光機を増強・導入し、開発・量産評価を強化。2026年5月14日資料で先端ArF露光機は2026年に稼働開始済みと確認。厚膜i線用露光機の稼働実績は未確認。

投資対象・実施内容

投資の分類生産設備の追加導入・増強
対象施設・設備先端フォトレジスト評価設備
対象製品液浸ArFレジスト・厚膜i線レジスト
対象工程リソグラフィ評価
導入・更新設備液浸ArF用露光機 / 厚膜i線用露光機

投資項目

投資項目区分
生産設備の追加導入・増強addition
液浸ArF用露光機：追加導入・増強addition
厚膜i線用露光機：追加導入・増強addition

目標と現在の進捗

時期イベント区分
2025年2月26日計画公表実績
2025年度から2026年度上期にかけて順次設備稼働予定期間予定

情報源