設備投資公表
大阪工場 先端フォトレジスト評価設備拡充
住友化学
⌖ 大阪府 大阪市此花区
液浸ArFレジストと厚膜i線レジスト向けの先端露光機を増強・導入し、開発・量産評価を強化。2026年5月14日資料で先端ArF露光機は2026年に稼働開始済みと確認。厚膜i線用露光機の稼働実績は未確認。
設備カテゴリ
液浸ArF用露光機
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関連データの地域分布
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