設備投資
大阪工場 液浸ArF・EUVフォトレジスト製造ライン増設
完了2021年8月に大阪工場の液浸ArF・EUVフォトレジスト製造ライン増設を決定。2025年2月の会社公式投資履歴で2023年稼働案件として遡及確認。
概要
| 実施企業 | 住友化学 → |
|---|---|
| 対象工場 | 住友化学 大阪工場 → |
| 所在地 | 大阪市此花区春日出中3丁目1番98号 地図を見る ↗ |
| 主な目的 | 最先端プロセス向けフォトレジスト需要拡大への対応・生産能力増強 |
| 全体の進捗 | 完了 |
| 計画発表日 | 2021年8月31日 |
| 主な目標・予定時期 | 2023年 |
投資内容の詳細
目標・背景
最先端プロセス向けフォトレジスト需要拡大への対応・生産能力増強
2021年8月に大阪工場の液浸ArF・EUVフォトレジスト製造ライン増設を決定。2025年2月の会社公式投資履歴で2023年稼働案件として遡及確認。
投資対象・実施内容
| 投資の分類 | 液浸ArF・EUVフォトレジスト製造ラインの増設 |
|---|---|
| 対象施設・設備 | 液浸ArF・EUVフォトレジスト製造ライン（2023年増設） |
投資項目
| 投資項目 | 区分 |
|---|---|
| 液浸ArF・EUVフォトレジスト製造ラインの増設 | addition |
目標と現在の進捗
| 時期 | イベント | 区分 |
|---|---|---|
| 2021年8月31日 | 計画公表 | 実績 |
| 2023年 | 稼働開始 | 実績 |
情報源
- 大阪工場 先端半導体用フォトレジスト評価設備拡充 ↗住友化学株式会社 · 公表 2025-02-26
- 最先端プロセス向け半導体フォトレジストの生産体制をグローバルに強化 ↗住友化学株式会社 · 公表 2021-08-31